仪器中文名：钨灯丝扫描电子显微镜

仪器英文名：electron scanning microscope

型号：S-3400N

厂家：日立公司

仪器原值：￥90万元

仪器负责人：李佑稷

放置地点：第二教学楼2101

联系电话：0743-8563911

性能指标：

1.工作条件

电源：220V(±10%)，50Hz；380V(±10%)，50Hz

工作环境温度：15~30度

工作环境湿度：< 70%

运行持久性：连续使用

安装条件：安装地线小于100欧姆

2.设备用途：用于样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。

3.技术规格

3.1扫描电子显微镜

*3.1.1保证分辨率：

二次电子图象分辨率：3.0nm (30kV,高真空模式)，10nm (3kV,低真空模式)。

背散射电子图象分辨率：4.0nm (30kV,低真空模式)

3.1.2加速电压：0.3 ~ 30kV。

3.1.3放大倍率：×5~×300,000

3.1.4灯丝：标准为预对中型的钨灯丝

*3.1.5最大样品尺寸：不小于直径200mm，高度不小于35mm(WD=10mm)。

3.1.6图像移动范围：±50μm

* 3.1.7样品台：

样品台移动范围：X≥80mm，Y≥40mm，Z：5 ~ 35mm，R：360°,

T：-20°~ 90°。

* 3.1.8电子枪偏压：可变电压(自动偏压+固定4梯度偏压)，与加速电压联动。

3.1.9电子透镜：自动/手动聚焦、消像散、调节放大倍率等。

3.1.10计算机操作系统：Windows XP

3.1.11扫描模式：TV扫描(扫描速度不低于0.033秒/帧)，慢扫描(4步)，可以全屏显示实时图像。

* 3.1.12物镜光栏：4孔（30，50，80，150um）可移动物镜光栏，X、Y微调旋钮

3.1.13操作：鼠标，键盘，手动旋钮控制

3.1.14具有X射线分析扩展功能

3.1.15显示器为液晶显示器

3.1.16储存图像的尺寸：640×480，1280×960, 2560×1920，5120×3840像素

3.1.17图像储存格式：BMP，JPEG，TIFF

3.2维护：SEM显示器上用实时三维动画，轻松指导电镜的维护。

聚光镜光栏：采用专利内衬管技术，用户可自行更换清洗聚光镜光栏无需重新安装镜筒。

*3.3标配检测器：SE检测器和独立5分割半导体背散射电子检测器。

*3.4真空系统：采用涡轮分子泵系统，具有高真空和低真空模式，样品室真空度范围6 ~ 270 Pa ,涡轮分子泵210升/秒一台,机械泵135升/分一台。

4,产品配置要求

4.1钨灯丝扫描电子显微镜1台

4.2预对中灯丝30支

4.3可移动光栏2支

4.4聚光镜光栏20支

4.5物镜固定光栏20支

4.6控制计算机及打印系统1套

4.7保证仪器正常运行和常规保养所需的标准附件、专用工具和消耗品1套

注：带*号的条款必须满足。